1. MCV-5003激光多普勒干涉仪 MCV-5002激光多普勒干涉仪加上RT-100A自动测量转台而组成MCV-5003激光多普勒干涉仪。 2. MCV-5003主要测量功能 1) 直线位移测量 2) 大型龙门式机床主动轴从动轴直线位移同步测量功能 3) 分轴步进对角线测量。 4)角偏测量 5)直线度测量 6)第四轴、第五轴回转精度测量 7)两导轨平行度测量
功能选型：激光多普勒干涉仪
MCV-5003激光多普勒干涉仪 独特的“双激光头分体设计”，专为大型五轴联动机床开发。针对性解决双驱动类、长行程类、五轴联动类检测。涵盖全部激光干涉仪功能，是大型机床研发制造和大型机构科研计量的。适合数控加工，数控车床、线切割、精密运动平台、大型龙门机床。
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MCV-5003基本技术参数
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激光频率稳定性
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±0.05ppm
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氦氖激光管
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2级
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激光输出功率
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＜1mW
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激光管寿命
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40000小时
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空气温度传感器精度
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±0.1 ℃
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空气压力传感器精度
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±1.1mmHg
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材料温度传感器精度
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±0.1 ℃
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环境温度（湿度）
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5-38 ℃（0-95％）
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电源电压（电源频率）
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90-265V（50-60Hz）
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线性位移测量
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测量距离
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≥30m（60m,100m可选）
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分辨率
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1nm
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精度
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±0.5ppm
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速度
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5m /秒
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主从动轴同步性检测
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数据采样速率
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1-1000个数/秒
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角偏(俯仰角、偏摆角)
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测量距离
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≥30m（60m,100m可选）
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分辨率
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0.2秒
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精度
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±0.2%±0.2 秒
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测量范围
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角度：±10 度
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速度
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4m /秒
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直线度测量
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测量距离
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≥30m（60m,100m可选）
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精度
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±0.2%±0.01 微米
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测量范围
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±1000 微米
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速度
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4m /秒
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向量法体对角线检测
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分辨率
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1nm
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精度
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±0.5ppm
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测量范围
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3m×2m×1m
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速度
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4m /秒
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可检测出机床3个定位精度、6个直线度、3个垂直度误差
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垂直度检测
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用SD附件
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同上
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转台测量
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转台测量分辨率
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0.02秒
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转台测量精度
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1秒
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测量范围
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0-360度
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两导轨平行度检测
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距离
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≥30m（60m,100m可选）
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分辨率
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1nm
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精度
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±1ppm
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