1.MCV-5005激光多普勒干涉仪 MCV-5002 激光多普勒干涉仪加上RT-100A 自动测量转台和二套LB-500 圆形轨迹测量组件就组成MCV-5005 激光多普勒干涉仪。它具有MCV-5002 、5003 、5004 的全部测量功能。 2. MCV-5005主要测量功能 1) 直线位移测量 2) 大型龙门式机床主动轴从动轴直线位移同步测量功能 3) 分轴步进对角线测量。 4)角偏测量 5)直线度测量 6)圆形和非圆形轨迹检测（非接触式球杆仪） 7)两导轨平行度测量 8)第四轴、第五轴回转精度测量
功能选型：激光干涉仪
MCV-5005 激光多普勒干涉仪独特的“双激光头分体设计”，专为大型五轴联动机床开发。针对性解决双驱动类、长行程类、五轴联动类检测。涵盖全部激光干涉仪功能，是大型机床研发制造和大型机构科研计量的。适合数控加工，数控车床、线切割、精密运动平台、大型龙门机床。
|
MCV-5005基本技术参数
|
激光频率稳定性
|
±0.05ppm
|
|
|
|
氦氖激光管
|
2级
|
|
|
|
激光输出功率
|
＜1mW
|
|
|
|
激光管寿命
|
40000小时
|
|
|
|
空气温度传感器精度
|
±0.1 ℃
|
|
|
|
空气压力传感器精度
|
±1.1mmHg
|
|
|
|
材料温度传感器精度
|
±0.1 ℃
|
|
|
|
环境温度（湿度）
|
5-38 ℃（0-95％）
|
|
|
|
电源电压（电源频率）
|
90-265V（50-60Hz）
|
|
|
线性位移测量
|
测量距离
|
≥30m（60m,100m可选）
|
|
|
|
分辨率
|
1nm
|
|
|
|
精度
|
±0.5ppm
|
|
|
|
速度
|
5m /秒
|
|
|
主从动轴同步性检测
|
数据采样速率
|
1-1000个数/秒
|
|
|
角偏(俯仰角、偏摆角)
|
测量距离
|
≥30m（60m,100m可选）
|
|
|
|
分辨率
|
0.2秒
|
|
|
|
精度
|
±0.2%±0.2 秒
|
|
|
|
测量范围
|
角度：±10 度
|
|
|
|
速度
|
4m /秒
|
|
|
直线度测量
|
测量距离
|
≥30m（60m,100m可选）
|
|
|
|
精度
|
±0.2%±0.01 微米
|
|
|
|
测量范围
|
±1000 微米
|
|
|
|
速度
|
4m/秒
|
|
|
向量法体对角线检测
|
分辨率
|
1nm
|
|
|
|
精度
|
±0.5ppm
|
|
|
|
测量范围
|
3m×2m×1m
|
|
|
|
速度
|
4m/秒
|
|
|
|
可检测出机床3个定位精度、6个直线度、3个垂直度误差
|
|
|
垂直度检测
|
用SD附件
|
同上
|
|
|
两导轨平行度检测
|
距离
|
≥30m（60m,100m可选）
|
|
|
分辨率
|
1nm
|
|
|
精度
|
±1ppm
|
|
圆形及非圆形轨迹测量
|
循圆测量半径
|
1-75毫米
|
|
|
循圆测量数据采样速率
|
1-1000个数/秒
|
|
|
循圆测量采样数
|
25000个数/圈
|
|
转台测量
|
转台测量分辨率
|
0.02秒
|
|
|
转台测量精度
|
1秒
|
|
|
测量范围
|
0-360度
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
